Исследование микрокристаллического кремния методом малоуглового рассеяния рентгеновских лучейстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:С помощью методики малоуглового рассеяния рентгеновских лучей исследован набор из двух типов
образцов микрокристаллического кремния, произведенного для применения в панелях солнечных элементов.
Показано, что в двух отдельных образцах, относящихся к разным типам, высоты зерен кремния составляют около 230 и 23 нм соответственно — вместо технологически запланированных 200 и 20 нм. Показано, что в образце, у которого в целях проведения исследований в просвечивающем режиме была сошлифована стеклянная подложка, сформирован поверхностный слой в виде локально упорядоченной матрицы из зерен аморфного кремния размером около 3 нм.