Аннотация:Бинарные межатомные потенциалы Mo-Mo, Mo-S и S-S, апробированные методом молекулярной динамики, использованы для расчета сдвигов фаз и сечений упругого рассеяния атомов в диапазоне относительных кинетических энергий 2-200 eV. Ожидается, что полученные дифференциальные и интегральные сечения рассеяния будут полезны для описания распыления нанометровых слоев MoS2, при проектировании перспективных устройств наноэлектроники и фотоники.