|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Inductively Coupled Plasma Sputtering: Structure of IV-VI Semiconductorsстатья
- Авторы: Zimin S., Gorlachev E., Amirov I.
- Сборник: Encyclopedia of Plasma Technology
- Том: 1
- Глава в коллективной монографии
- Год издания: 2017
- Издательство: CRC PRESS-TAYLOR & FRANCIS GROUP
- Местоположение издательства: 6000 BROKEN SOUND PARKWAY NW,STE 300, BOCA RATON, USA, FL, 33487-2742
- Первая страница: 679
- Последняя страница: 691
- Добавил в систему: Зотович Алексей Иванович