Аннотация:Рентгенографически установлено, что структура покрытий, наносимых магнетронным распылением хром-наноалмазных мишеней, носит композиционный характер и представлена фазами, образованными в результате взаимодействия компонентов мишени друг с другом и с активными газами, входящими в состав рабочей атмосферы напыления. Композитная структура покрытий формируется на основе металлического хрома и его фаз; свободный углерод присутствует в виде отдельных изолированных включений микронного размера и существенного влияния на функциональные свойства покрытий не оказывает.
Показано, что использование спеченных мишеней при вакуумном ионно-плазменном получении хром-наноалмазных покрытий приводит к их высоким функциональным свойствам.