|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Характеризация внутренних пористых кремниевых слоев, образованных высокодозовой имплантацией ионов гелия методом рентгеновской рефлектометриитезисы доклада
- Авторы: Ломов А.А., Орешко А.П.
- Сборник: Современные методы исследования структуры материалов и их применение в материаловедении
- Тезисы
- Год издания: 2015
- Место издания: НИТУ МИСиС Москва
- Первая страница: 31
- Последняя страница: 35
- Добавил в систему: Орешко Алексей Павлович