|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
DC magnetron discharge for high-rate sputteringстатья
- Авторы: Mitin V.S., Pal A.F., Ryabinkin A.N., Serov A.O.
- Сборник: VIII International Conference on the Physics of Plasma Physics and Plasma Technology
- Год издания: 2015
- Место издания: Kovcheg, Minsk Minsk
- Первая страница: 449
- Добавил в систему: Рябинкин Алексей Николаевич