|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Study of the properties of a Si surface layer implanted with 64Zn+ and 16O+ ions during the formation of ZnO nanoparticles under thermal annealingстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 апреля 2016 г.
- Авторы: Privezentsev V.V., Kulikauskas V.S., Zatekin V.V., Petrov D.V., Trifonov A.Yu, Batrakov A.A.
- Журнал: Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
- Том: 9
- Номер: 3
- Год издания: 2015
- Издательство: Pleiades Publishing, Ltd
- Местоположение издательства: Road Town, United Kingdom
- Первая страница: 486
- Последняя страница: 495
- DOI: 10.1134/S1027451015020160
- Аннотация: The cross section of a Si surface layer implanted with 64Zn+ and 16O+ ions is visualized via high-resolution transmission electron microscopy, and its evolution as a result of thermal annealing is investigated. The profiles of impurities implanted into this layer, which are measured by means of secondary-ion mass spectrometry, as well as their changes arising from heat treatment, are analyzed. The surface morphology is examined with the help of atomic-force microscopy.
- Добавил в систему: Затекин Владимир Витальевич