|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Некоторые электрофизические свойства поликристаллических пленок алмазатезисы доклада
- Авторы: Квасков В.Б., Федосеев Д.В., Толмачёв Ю.Н., Буховец В.Л.
- Сборник: Алмазоподобные пленки углерода. Межгосударственная конференция стран СНГ. 6 - 9 июня 1994 г
- Тезисы
- Год издания: 1994
- Место издания: Харьков, Ротапринт Института монокристаллов
- Первая страница: 31
- Последняя страница: 31
- Аннотация: Разработана методика осаждения наноразмерных (поликластерных)алмазных плёнок на металлы в диапазоне температур 150-300 градусов Цельсия. Основной особенностью этого метода является применение двух высоковольтных электрических разрядов. Разряд частотой 50 Гц активирует газовую среду, тогда как разряд частотой 50-200 кГц управляет потоком ионов на поверхность осаждения. Скорость осаждения - до 10 мкм / час, удельное сопротивление плёнок 10^4 - 10^10 Ом*см. в зависимости от температуры осаждения. Согласно структурным исследованиям, пленки состоят из алмазных частиц размером до 10 Ангстрем, погруженных в аморфную матрицу. Свойства плёнок определяется степенью разупорядоченности их структуры, что создаёт дополнительные степени свободы в электронной подсистеме, например, эффект переключения.
- Добавил в систему: Буховец Валентин Леонидович