Аннотация:Приведены результаты измерений температурных зависимостей темновой проводимости и фотопроводимости пленок -Si:H, легированных из газовой фазы или имплантацией ионов фосфора или бора, а также влияния предварительного освещения белым светом различной длительности на фотопроводимость. Предложена модель рекомбинации носителей в легированных пленках, учитывающая уширение уровней оборванных связей и различие коэффициентов захвата электронов и дырок на нейтральные и заряженные оборванные связи. В рамках этой модели рассмотрены зависимость стационарной межзонной фотопроводимости от равновесного уровня Ферми и возникновение температурного гашения фотопроводимости в легированных пленках после предварительного освещения.