Оценки, связанные с механизмом самокомпенсации ошибок в процессе напыления оптических покрытийстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:В работе рассмотрены основные алгоритмы определения толщин слоёв напыляемых многослойных оптических покрытий. Проведено сравнение этих алгоритмов. На серии модельных численных экспериментов показано преимущество одного из этих алгоритмов, а именно модифицированного Т-алгоритма, позволяющего уменьшить влияние кумулятивного эффекта накопления ошибок в определяемых толщинах слоёв.