|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Применение метода резерфордовского обратного рассеяния ионов для измерения содержания примесей в потоке кислородной плазмыстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Акишин А.И., Куликаускас В.С., Затекин В.В., Черник В.Н.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 1
- Год издания: 1996
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 89
- Последняя страница: 92
- Добавил в систему: Черник Владимир Николаевич