|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Влияние барьерного слоя TiNx на определение структурных характеристик диэлектрических и проводящих слоев кристаллов интегральных схемстатья
- Авторы: Соколов С.А., Милованов Р.А., Сидоров Л.Н., Шишкин В.И.
- Журнал: Наноматериалы и наноструктуры - XXI век
- Том: 9
- Номер: 2
- Год издания: 2018
- Первая страница: 43
- Последняя страница: 48
- Добавил в систему: Соколов Сергей Александрович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|