|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Спектральная методика расчета и коррекции изображений бинарных масок в фотолитографиистатья
- Авторы: Поройкова А.А., Рыжикова Ю.В.
- Сборник: Труды VI Международной конференции молодых ученых и специалистов «Оптика-2009»
- Год издания: 2009
- Место издания: СПб: СпбГУ ИТМО Санкт-Петербург
- Первая страница: 213
- Последняя страница: 216
- Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна