Аннотация:Метод аннигиляции позитронов (РВА - positron beam analysis) является уникальным методом исследования электронной структуры и микроструктуры различных материалов с рекордными чувствительностью и диапазоном концентрации дефектов. В данной работе приводится краткий обзор основ РВА. Особенности и возможности метода иллюстрируются рядом примеров, включая оригинальные результаты исследования эволюции дефектной структуры в холоднокатанных фольгах Fe0.94Ni0.04Ti0.02, при нитридизации в газовой смеси NH3 + Н2 с различным значением потенциала нитридизации и редукции в атмосфере водорода, а также структуры нанокристаллических пленок Fe-Zr-N, полученных магнетронным распылением и подвергнутых in situ термическому отжигу.