Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Об экспериментальной оценке электростатического напряжения, возникающего на МОП- структурах при плазменной обработке
статья
Авторы:
Рябый В.А.,
Савинов В.П.
,
Спорыхин А.А.
,
Якунин В.Г.
Журнал:
Труды Физико-технологического института
Номер:
10
Год издания:
1995
Издательство:
Физико-технологический институт РАН
Местоположение издательства:
Москва
Первая страница:
150
Последняя страница:
157
Добавил в систему:
Савинов Владимир Павлович