Аннотация:В работе описаны особенности измерения величины перемещения образца системой позиционирования зондового микроскопа. Показана необходимость согласования величины шага позиционирования и поля зрения микроскопа. Описано использование датчика ускорения и метода статистической дифференциации перекрывающихся изображений для измерения величины перемещения образца. Установлено, что комплексирование результатов измерений, полученных с помощью этих средств, позволяет повысить достоверность конечных результатов.