|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Физические процессы при обработке полупроводниковых пластин в плазме ВЧ разрядатезисы доклада
- Авторы: Александров А.Ф., Рябый В.А., Савинов В.П., Якунин В.Г.
- Сборник: Материалы Российской Конференции с участием зарубежных ученых “Микроэлектроника-94”
- Том: 1
- Тезисы
- Год издания: 1994
- Место издания: Звенигород
- Первая страница: 239
- Последняя страница: 240
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович