|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Влияние емкостной составляющей электрического поля на параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда низкого давлениятезисы доклада
- Авторы: Александров А.Ф., Вавилин К.В., Ковалевский В.Л., Кралькина Е.А., Павлов В.Б., Савинов В.П.
- Сборник: Тез. Докл. V Межд. научно-техн. конф. "Фундаментальные и прикладные проблемы физики"
- Тезисы
- Год издания: 2009
- Место издания: Саранск
- Первая страница: 199
- Последняя страница: 202
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович