|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Перспективы применения радиационно-стимулированной диффузии в технологии силовых приборовтезисы доклада Тезисы
- Авторы: Сурма А.М., Ладыгин Е.А., Лагов П.Б., Мурашев В.Н.
- Сборник: Четвертая Российская конференция с международным участием по физике, материаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния и приборных структур на их основе (Кремний 2007)
- Тезисы
- Год издания: 2007
- Место издания: Москва, Государственный технологический университет "Московский институт стали и сплавов" (МИСиС)
- Первая страница: 266
- Последняя страница: 266
- Добавил в систему: Лагов Петр Борисович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | 266.pdf | 335,3 КБ | 27 ноября 2018 [lagov2000] |