Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Построение модели и анализ технологического процесса изготовления тонкопленочных элементов статистическим методом главных компонентов
тезисы доклада
Авторы:
Литваковский Б.А., Андрукович П.Ф.,
Гинберг А.М.
,
Грановский Ю.В.
, Кириенко А.П.
Сборник:
Доклады 1-й конференции по применению методов математического моделирования и статистических методов для анализа-синтеза интегральных схем и технологических процессов микроэлектроники
Тезисы
Год издания:
1969
Место издания:
МИЭМ Москва
Первая страница:
87
Последняя страница:
88
Добавил в систему:
Грановский Юрий Васильевич