Аннотация:Покрытия тантала на образцах из нержавеющей стали получены при температурах 940-1000 К методом безводородного химического газофазного осаждения восстановлением пентабромида тантала парами кадмия. При данных температурах осаждения на подложки из нержавеющей стали наносится тантал с тетрагональной решеткой. В покрытиях проявляется текстура в направлении [002], особенно выраженная при температурах осаждения 970 и 1000 К. Исследованы скорости роста покрытия в зависимости от температуры подложки: скорость роста практически линейна для всех температур осаждения. Выяснено, что максимальная скорость роста покрытия наблюдается при температурах 970-1000 К.