Исследование пленки диоксида кремния, имплантированной Zn и облученной быстрыми ионами Xeтезисы доклада
-
Авторы:
ПРИВЕЗЕНЦЕВ В.В.,
ПАЛАГУШКИН А.Н.,
СКУРАТОВ В.А.,
КУЛИКАУСКАС В.С.,
БУКУНОВ К.А.,
ЗИЛОВА О.С.,
БУРМИСТРОВ А.В.,
ШТЕЙНМАН Э.А.,
ТЕРЕЩЕНКО А.Н.
-
Сборник:
XХVII Российская конференция по электронной микроскопии (РКЭМ-2018), Черноголовка, 28-28 августа 2018, ИПТМ РАН
-
Том:
2
-
Тезисы
-
Год издания:
2018
-
Первая страница:
74
-
Добавил в систему:
Куликаускас Вацловас Станиславович