|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Влияние ионной имплантации и отжигов МДП-структур на плотность поверхностных состояний и флуктуации поверхностного потенциала кремниястатья
- Авторы: Козлов С.Н., Боброва Е.А., Невзоров А.Н., Подпорин Е.В.
- Сборник: Тезисы докладов 8-го Всесоюзного совещания по физике поверхностных явлений в полупроводниках
- Том: 1
- Год издания: 1984
- Издательство: Наукова Думка
- Местоположение издательства: Киев
- Первая страница: 52
- Последняя страница: 53
- Добавил в систему: Козлов Сергей Николаевич