|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Лавинно-инжекционный отжиг дефектов в приповерхностной области кремниястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Козлов С.Н., Супрунов В.В.
- Журнал: Письма в "Журнал технической физики"
- Том: 18
- Номер: 9
- Год издания: 1992
- Издательство: Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 49
- Последняя страница: 52
- Добавил в систему: Козлов Сергей Николаевич