|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Изменение морфологиии и светопропускания кварцевых окон в чистящем ВЧ разряде в смеси D2/N2тезисы доклада
- Авторы: Городецкий А.Е., Буховец В.Л., Маркин А.В., Золотаревский В.И., Залавутдинов Р.Х., Захаров А.П., Войтицкий В.Л., Дмитриев А.М., Раздобарин А.Г., Мухин Е.Е.
- Сборник: Материалы XXII конференции "Взаимодействие плазмы с поверхностью". Москва, НИЯУ МИФИ, 23-24 января 2019 г
- Тезисы
- Год издания: 2019
- Место издания: Типография НИЯУ МИФИ Москва
- Первая страница: 43
- Последняя страница: 46
- Добавил в систему: Буховец Валентин Леонидович