|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Роль новых технологических методов в развитии микроэлектроникистатья
- Автор: Борисов В.П.
- Сборник: Технология-материалы-машины. История, современность, перспективы
- Глава в коллективной монографии
- Год издания: 1994
- Место издания: «Наука» Moscow
- Первая страница: 128
- Последняя страница: 140
- Добавил в систему: Борисов Василий Петрович