Аннотация:Методом рентгеновской дифрактометрии при асимметричной съемке установлены наличие аморфной углеродной фазы, нитридных и оксидных фаз титана в покрытиях,полученных реактивным распылением титана в смеси ацетилен-азот.
По данным рамановской спектроскопии установлено, что аморфный углерод в объеме таких покрытий присутствует в качестве кластеров небольших размеров (∼ 50 Å).
Установлено, что нанотвердость исследованный покрытий составляет от 10 до 20 ГПа
и немонотонно меняется с изменением состава использовавшейся при нанесении покрытий смеси реакционных газов. Для ОКР титановых фаз внедрения выполняется обратное соотношение Холла-Петча.
Показано, что исследованные покрытия имеют при испытаниях в условиях высоких (до 459 Мпа) контактных нагрузок более высокую работоспособность, чем алмазоподобные и твердые хромуглеродные покрытия на основе хрома.