|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Adsorption Techniques for Fine Purification of Substances for Microelectronics and Opticsстатья
- Авторы: Tolmachev A.M., Fedorov W.A., Egorov E.N.
- Журнал: Russian J. of Inorg. Materials. V. 41. Suppliment. I
- Год издания: 2005
- Первая страница: 75
- Последняя страница: 96
- Аннотация: This paper reviews systematic studies aimed at developing the physicochemical foundations of adsorption purification of volatile compounds of Group II-VI elements attractive for electronic and optical applications.
- Добавил в систему: Толмачев Алексей Михайлович