|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Characterization of the surface relief of film diffractive optical elementsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 30 декабря 2016 г.
- Авторы: Kaminskaya T.P., Popov V.V., Saletsky A.M.
- Журнал: Computer Optics
- Том: 40
- Номер: 2
- Год издания: 2016
- Первая страница: 215
- Последняя страница: 224
- DOI: 10.18287/2412-6179-2016-40-2-215-224
- Аннотация: Методом сканирующей зондовой микроскопии исследованы параметры рельефа плёноч-ных отражающих дифракционных оптических элементов, изготовленных по разным техноло-гиям: традиционной лазерной записи радужных голограмм и технологиям «Dot matrix»,«Kinemax» и электронно-лучевой литографии. Проведена оценка влияния технологии на па-раметры рельефа ДОЭ. Измерения показали, что в большинстве технологий высота рельефаможет отличаться от оптимальной более чем на 100%, и удовлетворительный визуальныйэффект достигается только благодаря тому, что присутствуют решетки с разными высотой ипрофилем и результат усредняется. Прямые измерения рельефа выявляют причину низкойдифракционной эффективности и тем самым показывают путь к ее увеличению.
- Добавил в систему: Каминская Татьяна Петровна