|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Способ получения тонких пленок нитрида алюминия АС1415804статья
- Авторы: Жиляков Л.А., Кириллин А.В., Костановский А.В.
- Журнал: Изобретения. Полезные модели. Официальный бюллетень Федеральной службы по интеллектуальной собственности (РОСПАТЕНТ)
- Номер: 47-48
- Год издания: 1993
- Издательство: Федеральный институт промышленной собственности
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 178
- Последняя страница: 178
- Добавил в систему: Жиляков Лев Альбертович