|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Равноскоростное магнетронное распыление мозаичных медно-графитовых мишенейстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Манкелевич Ю.А., Митин А.В., Митин В.С., Паль А.Ф., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Серов А.О., Лучкин С.Ю.
- Журнал: Письма в "Журнал технической физики"
- Том: 38
- Номер: 24
- Год издания: 2012
- Издательство: Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 60
- Последняя страница: 66
- Добавил в систему: Рябинкин Алексей Николаевич