Аннотация:Установлено накопление азота в наноразмерных поверхностных слоях образцов нержавеющей стали 03Х17Н12М2 при имплантации ионов N+ до 14 at.%, формирование нитридов металлов, в основном нитрида хрома CrN, и твердого раствора внедрения. Показано, что имплантация ионов N+ с применением предварительной обработки облучением ионами Ar+ и O+ приводит к снижению максимальной концентрации азота в 2 и более раза. Предполагается, что это обусловлено сегрегацией к приповерхностным слоям атомов железа в условиях облучения ионами Ar+ и формированием оксида хрома Cr2O3 и гидрооксида хрома CrOOH в условиях облучения ионами O+.