|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Изменение структуры и свойств кварца, последовательно имплантированного ионами Zn и F, в процессе термических отжиговстатья
- Авторы: Привезенцев В.В., Палагушкин А.Н., Штейнман Э.А., Терещенко А.Н., Колесников Н.Н., Макунин А.В., Ксенич С.В.
- Журнал: Труды НИИСИ РАН. Математическое и компьютерное моделирование сложных систем: теоретические и прикладные аспекты
- Том: 9
- Номер: 2
- Год издания: 2019
- Первая страница: 24
- Последняя страница: 31
- Аннотация: Изучены температурные зависимости структурных и фазовых превращений в кварце, последовательно имплантированном цинком и фтором, при отжиге в среде азота. Пластины легировали ионами Zn дозой 5 х 10_16 см_-2 с энергией 50 КэВ, а затем - той же дозой ионов F, но с энергией 17 КэВ. После имплантации на поверхности образца зафиксированы отдельные Zn-содержащие частицы размером порядка 100 нм. При отжиге эти частицы уменьшаются в размерах (на порядок после отжига при 800С). Имплантация приводит к образованию в объеме кварца радиационных точечных дефектов и их кластеров. В процессе термообработки радиационные дефекты постепенно отжигаются, и фаза металлического цинка трансформируется в его оксид (ZnO) при 600С, а затем - в виллемит (Zn2SiO4) при 800С. Ключевые слова: кварц, Zn/F имплантация, термический отжиг, ZnO, наночастицы.
- Добавил в систему: Макунин Алексей Владимирович