|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Optical metrology of thin films using high-accuracy spectro-photometric measurements with oblique angles of incidenceтезисы доклада
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 19 июля 2013 г.
- Авторы: Nevas S., Manoocheri F., Ikonen E., Tikhonravov A.V., Kokarev M.A., Trubetskov M.K.
- Сборник: Proceedings of SPIE. Advances in Optical Thin Films
- Том: 5250
- Тезисы
- Год издания: 2003
- Первая страница: 234
- Последняя страница: 242
- DOI: 10.1117/12.512700
- Аннотация: Oblique-incidence spectrophotometric measurements are considered for reliable determination of the refractive index and thickness of thin-film coatings. By using a model of the spectral transmittance of thin film samples, the effect of systematic factors on the determined thin-film parameters is analyzed. The optical parameters of a silicon-dioxide sample determined from the experimental results obtained with the HUT spectrophotometer are consistent for the incidence angles between 0 and 56.4 degrees, demonstrating high accuracy of film-parameter determination.
- Добавил в систему: Тихонравов Александр Владимирович