|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Особенности индуктивного ВЧ разряда низкого давления. II (математическое моделирование)статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Павлов В.Б., Рухадзе А.А.
- Журнал: Физика плазмы
- Том: 37
- Номер: 9
- Год издания: 2008
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 816
- Последняя страница: 827
- Добавил в систему: Кралькина Елена Александровна