|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Получение нанозазоров в пленках электрохимически осажденных металлов методом релаксации напряженийстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Солдатов Е.С., Овченков Е.А.
- Журнал: Журнал технической физики
- Том: 7
- Номер: 12
- Год издания: 2008
- Издательство: Наука
- Местоположение издательства: СПб.
- Первая страница: 74
- Последняя страница: 78
- Аннотация: В данной работе описывается методика изготовления системы планарных электродов с зазором порядка 10 нм и менее с помощью электрохимического «заращивания» зазоров 50-100 нм в электродах-заготовках. Методика основывается на полном заращивании зазора и последующем образовании разрыва в области смыкания электродов вследствие релаксации напряжения, возникшего при осаждении пленки.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич