|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Зарядка субмикронных структур при травлении диоксида кремния в одно и двухчастотном газовом разрядестатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Палов А.П., Манкелевич Ю.А., Рахимова Т.В., Шамирян Д.
- Журнал: Физика плазмы
- Том: 36
- Номер: 10
- Год издания: 2010
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 949
- Последняя страница: 959
- Добавил в систему: Палов Александр Петрович