Аннотация:В настоящей работе для исследования локальной атомной структуры металлического титана и карбида титана TiC использовался метод анализа тонкой структуры спектров энергетических потерь электронов, который является XAFS (X-ray Absorption Fine Structure) -подобной методикой. Исследование проведено на лабораторном Оже-микроанализаторе Jamp 10S (Jeol, Япония). Глубина анализируемого слоя составила не более 5 нм. Получены параметры локального окружения относительно атома титана и относительно атома углерода – парциальные координационные числа, длины химической связи и параметры среднеквадратичного отклонения атомов.