|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Elastic Scattering of Neutral Fluorine on Si, O, C, and H Atoms in the Range of the Relative Kinetic Energies of 2–200 eVстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 февраля 2020 г.
- Авторы: Alexander Palov, Jing Zhang, Baklanov Mikhail R., Shuhua Wei
- Журнал: Technical Physics Letters
- Том: 45
- Номер: 12
- Год издания: 2019
- Издательство: Pleiades Publishing, Ltd
- Местоположение издательства: Road Town, United Kingdom
- Первая страница: 1187
- Последняя страница: 1190
- DOI: 10.1134/S1063785019120113
- Аннотация: Binary interatomic potentials F–F, F–Si, F–O, F–C, and F–H are calculated from the first principles (ab initio) on the basis of the multi-configuration method of self-consistent field (CAS-SCF) with a basic set of atomic wave functions aug-pp-AV6Z and are used to calculate phase shifts and cross sections of elastic scattering of atoms in the range of relative kinetic energies of 2–200 eV. It is expected that the obtained elastic scattering cross sections will be useful for a description of sputtering and etching of porous organosilicate films with ethylene bridges used in modern nanoelectronics.
- Добавил в систему: Палов Александр Петрович