X-Ray Diffraction Study of Strain and Amorphization Profiles of Subsurface Layers in Silicon Single Crystals as Functions of a Boron-Ion Implantation Doseстатья

Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 1 апреля 2022 г.