|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Контрольные индикаторы энергоэффективности ВЧ индукционного газоразрядного узластатья
- Авторы: Рябый В.А., Машеров П.Е., Обухов В.А., Могулкин А.И.
- Журнал: Известия академии наук. Энергетика
- Номер: 3
- Год издания: 2016
- Первая страница: 70
- Последняя страница: 81
- Аннотация: Предложены контрольные индикаторы энергоэффективности ВЧ индукционного (ВЧИ) газоразрядного узла, получаемые путем интегральной диагностики разряда на основе предварительного определения параметров индуктора и измерений силы тока в нем при отсутствии и горении разряда и при точном согласовании нагрузки с ВЧ генератором. По результатам диагностики составлена группа из 12 параметров, названных конструктивными и операционными индикаторами системы, которые важны для сопоставления с данными локальной диагностики плазмы ВЧИ системы. Экспериментальная апробация предложенной методики выполнена на немецком технологическом источнике ионов RIM-20.
- Добавил в систему: Рябый Валентин Анатольевич