|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Зондовый метод измерения коэффициента Бома, толщин зондового слоя объёмного заряда и массы ионовстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКДата последнего поиска статьи во внешних источниках: 7 июля 2020 г.
- Авторы: Машеров П.Е., Рябый В.А.
- Журнал: Журнал технической физики
- Том: 88
- Номер: 12
- Год издания: 2018
- Издательство: Наука
- Местоположение издательства: СПб.
- Первая страница: 1801
- Последняя страница: 1806
- DOI: 10.21883/JTF.2018.12.46780.2051
- Аннотация: Предложено измерять толщину зондового слоя объёмного заряда и массу ионов в максвелловской плазме низкого давления на основе результатов стандартных зондовых измерений, используя эффект Бома, закон Больцмана и «закон 3/2» в случае их справедливости для изучаемой плазмы. Реализация данной возможности была обеспечена аккуратной зондовой диагностикой высокочастотной ксеноновой плазмы индукционного разряда при давлении 2 мТорр. Анализ полученных результатов показал справедливость указанных законов и эффекта Бома с «инженерной» точностью, что позволило найти коэффициент Бома ≈1,23 для цилиндрического зонда, составивший основу предложенного метода.
- Добавил в систему: Рябый Валентин Анатольевич