|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Разработка электролита для электроосаждения тонкого слоя сплава кобальт-фосфор и кобальт-вольфрам-фосфор из компоненты микроэлектронных структуртезисы доклада
- Авторы: Тураев Д.Ю., Гвоздев В.А., Ибрагимов Д.Р., Цуканова О.Ю., Валеев А.С., Кругликов С.С.
- Сборник: Покрытия и обработка поверхности: Тезисы докладов 10-й Международной конференции
- Тезисы
- Год издания: 2013
- Место издания: Москва
- Первая страница: 108
- Последняя страница: 109
- Добавил в систему: Кругликов Сергей Сергеевич