|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Technology for fabrication of sub-20 nm silicon planar nanowires arrayтезисы доклада
- Авторы: Miakonkikh A., Tatarintsev A., Rogozhin A., Rudenko K.
- Сборник: International Conference “Micro- and nanoelectronics – 2016”
- Тезисы
- Год издания: 2016
- Первая страница: 136
- Добавил в систему: Татаринцев Андрей Андреевич