Формирование и диагностика элементов кремниевой фотоникитезисы доклада
-
Авторы:
Байдакова Н.А.,
Красильник З.Ф.,
Кудрявцев К.Е.,
Лукичев В.Ф.,
Морозова Е.Е.,
Новиков А.В.,
Орликовский Н.А.,
Сергеев С.М.,
Скороходов Е.В.,
Степихова М.В.,
Татаринцев А.А.
-
Сборник:
Тезисы докладов XI Конференции и X Школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2016»
-
Тезисы
-
Год издания:
2016
-
Первая страница:
167
-
Добавил в систему:
Татаринцев Андрей Андреевич