|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Суперкомпьютерное моделирование механических напряжений в тонких пленкахстатья Электронная публикация
- Авторы: Григорьев Ф.В., Сулимов А.В., Кочиков И.В., Кондакова О.А., Сулимов В.Б., Тихонравов А.В.
- Сборник: Суперкомпьютерные дни в России: Труды международной конференции (26-27 сентября 2016 г., г. Москва)
- Год издания: 2016
- Место издания: Изд-во МГУ М
- Первая страница: 683
- Последняя страница: 688
- Аннотация: В представленной работе предлагается метод расчета механических напряжений в пленках и подложке, возникающих при напылении. Метод основан на ранее развитом подходе молекулярно-динамического моделирования процесса роста тонких пленок. Метод применен к пленкам диоксида кремния рекордной для атомистического моделирования толщиной до 80 нм. Показано, что в случае высокоэнергетических методов напыления наблюдается напряжение сжатия (compressive stress), величины напряжений соответствуют экспериментальным данным. Получена зависимость величин напряжений от толщины пленки при различных температурах подложки и энергии напыляемых атомов. Для оценки точности используемого подхода проведен расчет модуля Юнга атомистических кластеров диоксида кремния размером ~ 10 нм. Вычисления проведены на суперкомпьютере "Ломоносов" Суперкомпьютерного Центра МГУ им. М.В. Ломоносова.
- Добавил в систему: Кондакова Ольга Анатольевна