|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Finite-element predictive 3D modelling and optimization of membrane-based thermoresistive MEMS accelerometersстатья
- Авторы: Djuzhev N.A., Lapshin R.V., Belin A.M., Ovodov A.I., Novikov D.V., Demin G.D.
- Сборник: Proceedings of the International Conference “Micro- and Nanoelectronics – 2018” (ICMNE-2018)
- Том: 11022
- Год издания: 2018
- Место издания: SPIE
- Первая страница: 94
- Добавил в систему: Демин Глеб Дмитриевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | N._A._Djuzhev_et_al._Finite-element_predictive_3D_modelling… | 213,3 КБ | 30 июля 2020 [Lapshin] |