Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Maskless nanolithography on the basis of microfocus X-ray tubes: Conversion of electron energy into the BeKα line
статья
Авторы:
Chkhalo N.I.
,
Lopatin A.Ya
,
Pestov A.E.
,
Salashchenko N.N.
,
Demin G.D.
,
Dyuzhev N.A.
,
Makhiboroda M.A.
Сборник:
Proceedings of SPIE
Том:
11022
Год издания:
2019
Место издания:
SPIE
Добавил в систему:
Демин Глеб Дмитриевич