|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Автоматическая распределенная калибровка сканера зондового микроскопастатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Автор: Лапшин Р.В.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 11
- Год издания: 2006
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 69
- Последняя страница: 73
- Аннотация: Описывается способ автоматической калибровки сканера зондового микроскопа, при котором вместо четверки фиксированных усредненных калибровочных параметров, характеризующих весь сканер, в процессе измерения эталонной поверхности ищется сеть локальных калибровочных коэффициентов в пространстве перемещений сканера. При проведении распределенной калибровки используются методы особенность-ориентированного сканирования, что позволяет in situ исключить негативное влияние термодрейфа, ползучести и гистерезиса на получаемые результаты. Располагая калибровочной базой данных, возможно в один прием исправить все пространственные искажения, вызываемые нелинейностью, неортогональностью и паразитным воздействием друг на друга пьезоманипуляторов микроскопа.
- Добавил в систему: Лапшин Ростислав Владимирович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | R._V._Lapshin_Automatic_distributed_calibration_of_probe_mi… | 3,8 МБ | 31 июля 2020 [Lapshin] |