Influence of Hydrogen on the Structure of Cerium Films Obtained by Magnetron Sputter Deposition on Semiconductor Wafersстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 30 декабря 2020 г.

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Influence_of_Hydrogen_on_the_Structure_of_Cerium_Films_Ob... Influence_of_Hydrogen_on_the_Structure_of_Cerium_Films_Ob... 692,7 КБ 6 августа 2020 [Verbetsky]